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PVDF粉末在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
一、高純度化學(xué)品輸送系統(tǒng)
管道與閥門
PVDF粉末可通過擠出或注塑成型制成管道、閥門和儲(chǔ)罐，用于輸送超純水、高純度酸堿及有機(jī)溶劑，其化學(xué)惰性可避免污染介質(zhì)。
典型應(yīng)用：半導(dǎo)體濕法工藝中的快排閥，確保無氣體殘留和快速排放1。
密封部件
PVDF制成的密封圈和墊片能耐受強(qiáng)腐蝕性化學(xué)品（如氫氟酸除外），長期穩(wěn)定性優(yōu)異。
二、半導(dǎo)體制造設(shè)備
反應(yīng)腔體襯里
PVDF涂層或襯里用于保護(hù)金屬設(shè)備免受蝕刻氣體（如Cl?、HBr）腐蝕，延長使用壽命。
晶圓處理工具
PVDF制成的晶圓承載器、夾具等部件，具有低釋氣性和高潔凈度，避免晶圓污染。
三、功能組件
壓電傳感器
PVDF粉末加工成的薄膜可用于晶圓加工過程中的振動(dòng)監(jiān)測和精密控制。
超濾膜
PVDF超濾膜用于半導(dǎo)體廢水處理，納米級(jí)顆粒和離子雜質(zhì)。
四、工藝適配性
PVDF粉末可通過擠出（200-230℃）或注塑成型加工，需嚴(yán)格控制溫度以避免分解。
